Laserspiegel für ultrakurze Pulse im Femtosekunden-Bereich erfolgreich qualifiziert

Die Bearbeitung von Material mittels Laserpulsen im Nanosekundenbereich ist Standard in der Industrie. Immer kleinere und präzisere Strukturen können mittels neuester Lasertechnologien gefertigt werden, bei denen die Pulsdauer im Bereich von Piko- und Femtosekunden liegt. Dabei tritt die Energie an der Wirkstelle extrem komprimiert auf. Die photonische Energie des Pulses ist derart kurz, dass eine Erwärmung des umgebenden Materials nicht erfolgt. Vorteil dieses Wirkprinzip ist die Fertigung von extrem präzisen und feinen Strukturen.

Die verwendeten Optiken werden dabei extrem hohen Leistungsanforderungen ausgesetzt. Eine Anpassung der Optiken an die physikalischen Wirkprinzipien ultrakurzer Laserpulse ist unerlässlich.

Optics Balzers hat für diese Optiken ein spezielles dielektrisches Schichtsystem entwickelt und erfolgreich getestet. Mittels PARMS Beschichtungstechnologie ist es gelungen 45°-HR Spiegel für 1030nm zu fertigen, bei denen eine Zerstörschwelle von 0.44J/cm² bei 210fs nachgewiesen wurde. Diese kommen typisch in Ultrakurzpulssystemen von Yb:YAG Festkörperlaser zum Einsatz. Diese Spiegel sind, auf 1“-Substraten abgeschieden, als Demonstratoren verfügbar.

Durch Prozessoptimierungen sollen im nächsten Schritt die erreichten Resultate verbessert werden. Zudem werden Designs für andere typische Ultrakurzpuls Wellenlängen getestet. Darunter sind Spiegel für Titan-Saphire Laser bei 800nm und Erbium-Laser bei 1550nm.

Die neuen Datenblätter «Nd : YAG Laser Line Mirrors» und «Ti : Sapphire Laser Line Mirrors» finden Sie auf www.opticsbalzers.com.