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Optische Beschichtungstechnologien

Die Herstellung qualitativ hochstehender optischer Beschichtungen erfordert modernste Verfahrenstechnologien kombiniert mit vertieftem Prozess-Know-how.

Optics Balzers verwendet eine Reihe hochmoderner Beschichtungstechnologien für alle wichtigen Beschichtungsarten, die in der Präzisionsoptik und Photonik-Industrie zum Einsatz gelangen. Für die Herstellung optischer Komponenten wird ein breites Spektrum von Prozessen eingesetzt, die individuell für die unterschiedlichen Beschichtungen und ihre kundenspezifischen Anforderungen optimiert sind. Modernste, unter Reinraumbedingungen arbeitende Anlagen, in Kombination mit spezifisch entwickelten Reinigungstechnologien zur Vorbereitung der Oberflächen, sichern die durchgängig hohe Qualität der Beschichtungen. Spektralanalyse und  weitere Prüfmethoden stellen sicher, dass alle Kundenspezifikationen und Anforderungen erfüllt werden.

 

All diese Prozesse erfolgen durch gut ausgebildete, qualifizierte Mitarbeiter und werden durch erfahrenes technisches Personal überwacht. 

Aufdampfen (Elektronenstrahl und thermisch)

Schema Aufdampfen
  • Vielseitigkeit bei den Materialien
  • Flexibilität der Substratformen
  • Hohe Qualität bei Antireflex-Beschichtungen
  • Hohe Qualität bei Metallbeschichtungen
  • Mittlere Qualität bei anspruchsvollen dielektrischen Filtern

IAD-Aufdampfen (Ion Assisted Deposition)

Schema IAD-Aufdampfen
  • Entwicklung einer Verdampfungstechnologie, welche die Vorteile des Aufdampfens mit Plasma-Prozessen kombiniert.
  • Hohe Qualität bei Präzisionsfiltern und Antireflex-Beschichtungen
  • Reduzierte Prozesstemperatur
  • Optische Beschichtungsprozesse für Low-defect Beschichtungen
  • Plasmavorbehandlung der Substratoberfläche

IBS-Aufdampfen (Ion Beam Sputtering)

Schema IBS-Aufdampfen
  • Beschichtungen höchster Qualität für Laserspiegel und -filter
  • Sehr gleichmässige und dichte Schichten mit minimalem optischen Verlust
  • Sehr gute Reproduzierbarkeit und Beständigkeit von Beschichtungsqualität und optischen Eigenschaften

Magnetron Sputter-Beschichtung

Schema Magnetron Sputter-Beschichtung
  • Hohe Qualität bei dielektrischen Filterbeschichtungen für Serienfertigung
  • Hohe Präzision und Reproduzierbarkeit ermöglichen hervorragende Spektraleigenschaften mit enger Toleranz
  • Ausgezeichnete spektrale Stabilität und Beständigkeit
  • Hervorragend geeignet zur Beschichtung von Flachglassubstraten
  • Niedrige Prozesstemperatur <100°C

 


Plasma-unterstützte Magnetron Sputter-Beschichtung

Schema Plasma-unterstützte Magnetron Sputter-Beschichtung
  • Erhöhte Prozessstabilität, Schichtdickengenauigkeit und Brechzahlhomogenität im Vergleich mit herkömmlicher Magnetron Sputter-Beschichtung
  • Einsetzbar für Beschichtungen mit bis zu 30 µm Gesamtdicke und 300 Schichten
  • Minimale geometrische Dicke pro Schicht von 3 nm
  • Niedrigste erreichbare Mikrorauhigkeit
  • Schnelles Prototyp-Regime auch für sehr komplexe Schichtdesigns anwendbar
  • Niedrige Oberflächenkontamination durch ein Load-Lock-Konzept
  • Hohe Umweltstabilität